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TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

簡要描述：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)，照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈（德國歐司朗）; XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-06-04
  • 訪  問  量：1875

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類微流控芯片系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子
產(chǎn)品名稱：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
   曝光場面積：20mm×20mm
   分辨力：2μm；
   照明不均勻性：±2%
   物鏡倍率：2.5倍(縮小)
   光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
   基片尺寸：4 英寸
   工件臺運(yùn)動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
   工件臺運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm
   調(diào)焦臺運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm
   對準(zhǔn)精度：±0.5μm
   調(diào)焦臺運(yùn)動(dòng)行程：5mm
   檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
   轉(zhuǎn)動(dòng)臺行程：±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)主要技術(shù)配置：
（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺;   光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
（2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國）   Y臺：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國）   轉(zhuǎn)動(dòng)臺：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（3套）、調(diào)平機(jī)構(gòu)   Z臺：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
（4）對準(zhǔn)系統(tǒng)：對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對準(zhǔn)軟件
（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口
（6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
（7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機(jī)一臺（靜音泵）;管道

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